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中科科仪 KYKY-EM8200超高分辨场发射扫描电镜

发布时间：2026-07-17

中科科仪 KYKY-EM8200超高分辨场发射扫描电镜是一款面向高端科研与精密分析应用的先进电子显微设备，具备卓越的空间分辨率与成像稳定性，适用于纳米尺度材料与复杂微结构表征，广泛应用于材料科学、半导体及前沿制造研究领域。

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产品介绍

中科科仪 KYKY-EM8200在高端微观表征领域具有突出的科研应用价值，可实现亚纳米级结构的高分辨成像。其超高分辨场发射扫描电子显微系统结合先进电子光学设计，有效提升成像清晰度与稳定性，满足纳米材料微观结构分析与半导体器件精细表征等高端需求。设备适用于先进功能材料研究、芯片制造工艺分析及科研院所高端实验平台。品牌依托深厚技术积累，体现出国产高端扫描电镜技术与性能优势。

产品特点：

1.新一代低像差物镜、减速样品台、低压高分辨成像；

2.低噪声Inlens探测器；

3.自动推入式背散射探测器；

4.全新的用户界面设计；

5.丰富的软件测量功能。

参数名称	规格说明
分辨率	SE 0.8nm@15kV、1.5nm@1kV
电子枪	Schottky 肖特基场发射电子枪
探测器配置	高真空二次电子探测器、半导体四分割背散射探测器、红外CCD摄像头、Inlens探测器
放大倍数	1x-3000000x；光学放大 1x-100x
加速电压	0.2kV-30kV
样品台	五轴自动大样品台
电子光学镜筒部分	1000×1000×1730(mm)
电器柜控制部分	1330×850×740(mm)

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