| 参数名称 | 规格说明 |
| 分辨率 | KYKY-EM6910/6920 SE:3nm@30kV,8nm@3kV; BSE :4nm@30kV(选配) |
| 探测器 | KYKY-EM6910/6920 二次电子探测器、半导体四分割背散射探测器(选配)、红外 CCD、低真空二次电子探测器(选配) |
| 加速电压 | KYKY-EM6910/6920 0.2kV-30kV |
| 电子光学镜筒部分 | KYKY-EM6910:850×880×1650(mm) KYKY-EM6920:1340×850×740(mm) |
| 电器柜控制部分 | KYKY-EM6910:1000×1000×1700(mm) KYKY-EM6920:1340×850×740(mm) |
| 灯丝 | KYKY-EM6910:预对中钨灯丝,六硼化镧(选配) KYKY-EM6920:预对中钨灯丝,六硼化镧(选配) |
| 样品台 | KYKY-EM6910:五轴自动中样品台 KYKY-EM6920:五轴自动大样品台 |