国仪量子 SEM4000X 在高精度微观表征领域具备突出的应用价值，可实现纳米级结构的清晰成像与稳定分析。其高分辨场发射扫描电子显微系统结合优化电子光学设计，有效提升成像分辨率与对比度，满足纳米材料微观结构表征与半导体器件工艺分析等高要求应用。设备适用于先进功能材料研究、芯片制造质量分析及科研院所高端实验平台。品牌依托自主核心技术，体现出国产高端扫描电镜性能与稳定性优势。
产品特点：
1.SEM4000X是一款稳定通用，灵活高效的场发射扫描电镜。
2.分辨率可达1.9nm @1.0kV，轻松应对各种类型样品的高分辨拍样挑战，可升级超级减速模式，进一步提升低压分辨率。
3.同时采用了多探测器技术，镜筒内电子探测器（UD）可探测SE和BSE信号，同时具有高分辨率性能。
4.仓内电子探测器（LD）采用了晶体闪烁体和光电倍增管，具备更高的灵敏度和高效性，图像具有很好的立体感。
5.中文操作软件，简单易用，丰富的自动化功能，如自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散、自动对中等等，可快速获取高分辨图像。
| 参数名称 | 规格说明 |
| 分辨率 | 0.9 nm@30 kV, SE 1.0 nm@15 kV, SE 1.8 nm@1 kV, SE 1.5 nm@1 kV（超级减速） 0.8 nm@15 kV(超级减速） |
| 放大倍率 | 1 x～1000,000 x |
| 加速电压 | 200V～30 kV |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台行程 | XY=110 mm，Z=65mm |
| 样品台配置 | 五轴真空电机驱动 |
| T行程 | -10° ~+70° |
| R行程 | 360° |
| 探测器 | 镜筒内电子探测器 仓室内电子探测器 |
| 操作软件 | Windows操作系统，中文SEM软件 |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
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