国仪量子 SEM4000Pro 在微观结构分析领域具有显著应用价值，可满足科研与工程分析对成像清晰度和稳定性的高要求。其场发射扫描电子显微系统结合优化电子光学设计，实现高分辨率与高对比度成像，适用于材料微观形貌表征、纳米结构分析及半导体器件检测。设备可广泛应用于先进材料研究、工艺质量分析及科研院所实验平台。品牌依托自主核心技术，体现出国产高端扫描电镜可靠性能优势。
产品特点：
1.配备高亮度、长寿命的肖特基热场发射电子枪；
2.分辨率高，30 kV 下优于 0.9 nm 的极限分辨率；
3.三级磁透镜设计，束流可调范围大，最大支持 400 nA 的分析束流；
4.无漏磁物镜设计，可直接观察磁性样品；
5.标配低真空模式，以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器；
6.标配的光学导航模式，中文操作软件，让分析工作更轻松；
7.自动矿物分析软件，最小矿物识别精度≤1μm，大于4000种矿物数据库。
| 参数名称 | 规格说明 |
| 分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV，SE 2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa 1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa |
| 放大倍率 | 1 x～1000,000 x |
| 加速电压 | 200 V ~ 30 kV（35kV可选） |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 |
| 低真空模式 | 最大180 Pa |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台行程 | XY=110 mm，Z=65mm |
| 样品台配置 | 五轴真空电机驱动 |
| T行程 | -10° ~+70° |
| R行程 | 360° |
| 探测器 |
仓室内电子探测器（ETD） 低真空二次电子探测器（LVD） 插入式背散射电子探测器 |
| 操作软件 | Windows操作系统，中文SEM软件 |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
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