国仪量子 SEM5000Pro 在微观结构表征领域具有突出的应用价值，可实现高分辨率、高对比度的样品成像分析。其场发射扫描电子显微系统结合稳定的电子光学设计与高灵敏探测技术，有效提升成像清晰度，满足材料微观形貌表征与半导体器件结构分析需求。设备适用于先进材料研究、器件工艺分析及科研院所高端实验平台。品牌依托自主研发能力，体现出国产高端扫描电镜可靠性能优势。
产品特点：
1.分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像；
2.电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品；
3.高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证；
4.电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力；
5.水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性；
6.磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换。
| 参数名称 | 规格说明 |
| 分辨率 | 0.7 nm @ 15 kV，SE 1.1 nm @ 1.0 kV，SE 0.7 nm @ 35 kV ，STEM |
| 放大倍率 | 1 x～2500,000 x |
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV（35kV可选） |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 |
| 低真空模式 | 最大180 Pa |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台行程 | XY=110 mm，Z=65mm |
| 样品台配置 | 五轴真空电机驱动 |
| T行程 | -10° ~+70° |
| R行程 | 360° |
| 探测器 | 镜筒内电子探测器：Inlens 仓室内电子探测器：ETD |
| 操作软件 | Windows操作系统，中文SEM软件 |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
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