国仪量子 SEM5000X 在高端微观表征领域具备重要应用价值，可实现亚纳米级结构的清晰成像与精细分析。其超高分辨场发射扫描电子显微系统结合稳定电子光学设计，有效提升成像对比度与分辨能力，满足纳米材料微观结构表征与半导体器件失效分析等高要求应用。设备适用于先进材料研究、芯片制造工艺分析及科研院所高端实验平台。品牌依托自主核心技术，体现出国产高端扫描电镜性能优势。
产品特点：
1.超高分辨率成像，达到了突破性的0.5 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV；
2.样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景；
3.高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响；
4.最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求。
| 参数名称 | 规格说明 |
| 分辨率 |
0.5 nm @ 15 kV，SE 1.0 nm @ 1 kV，SE |
| 放大倍率 | 1 x～2500,000 x |
| 加速电压 | 20 V ~ 35kV |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 |
| 低真空模式 | 最大180 Pa |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台行程 | XY=110 mm，Z=65mm（XY轴支持升级至150mm） |
| T行程 | -10° ~+70° |
| R行程 | 360° |
| 探测器 | 镜筒内电子探测器：Inlens 仓室内电子探测器：ETD |
| 操作软件 | Windows操作系统，中文SEM软件 |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
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